COBRA BC
Идеальное решение для работы с полупроводниками в системах со средними и легкими условиями эксплуатации
- Усовершенствованная конструкция винта
- Сухой бесконтактный принцип действия
- Уникальная конструкция «парящий подшипник»
- Консольная конструкция
- Компактная интегрируемая конструкция
- Прямое водяное охлаждение
- Полностью открытый протокол передачи данных
Как работают насосы COBRA BC
Преимущества моделей серии COBRA ВС
Вакуумные насосы COBRA BC — оптимальный выбор для решения задач в загрузочных шлюзах и транспортировочных камерах. Кроме того, насосы этой линейки можно использовать в метрологии, литографии, системах конденсации из паровой фазы, процессах быстрого термального отжига и травлении кремния.
Конструкция на основе запатентованных самобалансирующихся винтов обладает низким уровнем вибрации и не создает шума.
Винты вакуумных насосов COBRA BC изготавливаются из цельнолитой заготовки и не имеют зазоров. Это препятствует доступу рабочих жидкостей и посторонних частиц. В результате исключается коррозия и отложение грязи.
В конструкции вакуумного насоса COBRA BC используется консоль колоколообразной формы. Сдвоенный винтовой ротор с винтами регулирования шага устанавливается только со стороны двигателя. Уникальная конструкция «парящий подшипник» исключает необходимость установки подшипников на стороне впуска. Поэтому перекачиваемая среда не соприкасается с подшипниками. Насос генерирует чистый вакуум и позволяет восстанавливать перекачиваемую среду в полном объеме.
В вакуумных насосах серии COBRA BC реализован эффективный процесс прямого водяного охлаждения. В результате температура равномерно распределяется по всему корпусу насоса. Более того, во время работы обеспечивается термоустойчивость насоса.
Полностью открытый протокол передачи данных (Modbus TCP-IP) позволяет управлять всеми функциями агрегата. В том числе в режиме холостого хода и частотного регулирования привода. Используя стандартные интерфейсные компоненты, открытый протокол передачи данных можно легко адаптировать к конкретному сетевому протоколу.
Взрывобезопасный двигатель, который устанавливается непосредственно на насос, делает размеры насосов серии COBRA BC очень компактными. Благодаря интегрируемой конструкции насосы этой серии можно быстро и с легкостью модернизировать в соответствии с требованиями существующих систем.