COBRA BC — ИДЕАЛЬНОЕ РЕШЕНИЕ ДЛЯ РАБОТЫ С ПОЛУПРОВОДНИКАМИ В СИСТЕМАХ СО СРЕДНИМИ И ЛЕГКИМИ УСЛОВИЯМИ ЭКСПЛУАТАЦИИ
Превосходные рабочие характеристики
Усовершенствованная форма винта, конструкция в виде колокола, запатентованные самобалансирующиеся винты, превосходные эксплуатационные характеристики, оптимальное решение для загрузочных шлюзов и транспортировочных камер, метрологии, литографии, систем конденсации из паровой фазы и быстрого термального отжига
Эффективность
Интеллектуальный привод с регулируемой скоростью вращения, низкая стоимость владения, минимальное техническое обслуживание, высокая работоспособность, прямое водяное охлаждение
Компактность
Интегрируемая конструкция, взрывобезопасный мотор, устанавливаемый непосредственно на насос, встроенная панель управления
Технические данные
| ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ | COBRA BC 0600 F |
|---|---|
| Номинальная производительность | 520 m³/h |
| Предельное остаточное давление | 0,003 hPa (mbar) |
| Номинальная мощность двигателя форвакуумного насоса | 1,5 kW |
| Номинальная мощность двигателя двухроторного бустерного вакуумного насоса Рутса | 4,0 kW |
| Энергопотребление в режиме холостого хода | 1,1 kW |
| Энергопотребление при предельном остаточном давлении | 2,1 kW |
| Номинальная частота вращения двигателя форвакуумного насоса | 3000 min⁻¹ |
| Номинальная частота вращения двигателя двухроторного бустерного вакуумного насоса Рутса | 3000 min⁻¹ |
| Уровень шума (ISO 2151) | 62 dB(A) |
| Расход воды | 3,0 l/min |
| Азотопотребление | 0 – 50 l/min |
| Масса, прибл. | 315 kg |
| Размеры (L x W x H) | 933 x 354 x 694 mm |
| Впуск газа | DN 63 ISO–K |
| Выпуск газа | DN 40 ISO–KF |
| ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ | COBRA BC 0600 F |
|---|---|
| Номинальная производительность | 620 m³/h |
| Предельное остаточное давление | 0,003 hPa (mbar) |
| Номинальная мощность двигателя форвакуумного насоса | 1,8 kW |
| Номинальная мощность двигателя двухроторного бустерного вакуумного насоса Рутса | 4,4 kW |
| Энергопотребление в режиме холостого хода | 1,3 kW |
| Энергопотребление при предельном остаточном давлении | 2,2 kW |
| Номинальная частота вращения двигателя форвакуумного насоса | 3600 min⁻¹ |
| Номинальная частота вращения двигателя двухроторного бустерного вакуумного насоса Рутса | 3600 min⁻¹ |
| Уровень шума (ISO 2151) | 62 dB(A) |
| Расход воды | 3,0 l/min |
| Азотопотребление | 0 – 50 l/min |
| Масса, прибл. | 315 kg |
| Размеры (L x W x H) | 933 x 354 x 694 mm |
| Впуск газа | DN 63 ISO–K |
| Выпуск газа | DN 40 ISO–KF |
Рынки и области применения
Производство полупроводников
-
Средние
Отзывы
Отзывов пока нет.