COBRA BC — ИДЕАЛЬНОЕ РЕШЕНИЕ ДЛЯ РАБОТЫ С ПОЛУПРОВОДНИКАМИ В СИСТЕМАХ СО СРЕДНИМИ И ЛЕГКИМИ УСЛОВИЯМИ ЭКСПЛУАТАЦИИ
Превосходные рабочие характеристики
Усовершенствованная форма винта, конструкция в виде колокола, запатентованные самобалансирующиеся винты, превосходные эксплуатационные характеристики, встроенный двухроторный бустерный вакуумный насос, оптимальное решение для процессов холодного осаждения атомных слоев, загрузочных шлюзов и транспортировочных камер, метрологии, литографии, конденсации из паровой фазы, быстрого термального отжига и травления, включая травление оксида, кремния и металла
Эффективность
Новейшая технология Busch VacBoost, низкая стоимость владения, минимальное техническое обслуживание, высокая работоспособность, прямое водяное охлаждение, интеллектуальный алгоритм работы в режиме холостого хода
Компактность
Интегрируемая конструкция, взрывобезопасный мотор, устанавливаемый непосредственно на насос
| ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ | COBRA BC 1000 F PREMIUM EFFICIENCY |
|---|---|
| Номинальная производительность | 955 m³/h |
| Предельное остаточное давление | 0,001 hPa (mbar) |
| Номинальная мощность двигателя форвакуумного насоса | 1,8 kW |
| Номинальная мощность двигателя двухроторного бустерного вакуумного насоса Рутса | 2,9 kW |
| Энергопотребление в режиме холостого хода | 0,4 kW |
| Энергопотребление при предельном остаточном давлении | 1,5 kW |
| Номинальная частота вращения двигателя форвакуумного насоса | 3600 min⁻¹ |
| Номинальная частота вращения двигателя двухроторного бустерного вакуумного насоса Рутса | 5400 min⁻¹ |
| Уровень шума (ISO 2151) | 62 dB(A) |
| Расход воды | 3,0 l/min |
| Расход сжатого сухого воздуха | 25 l/min |
| Масса, прибл. | 310 kg |
| Размеры (L x W x H) | 1054 x 425 x 615 mm |
| Впуск газа | DN 100 ISO–K |
| Выпуск газа | DN 40 ISO–KF |
| ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ | COBRA BC 1000 F PREMIUM EFFICIENCY |
|---|---|
| Номинальная производительность | 955 m³/h |
| Предельное остаточное давление | 0,001 hPa (mbar) |
| Номинальная мощность двигателя форвакуумного насоса | 1,8 kW |
| Номинальная мощность двигателя двухроторного бустерного вакуумного насоса Рутса | 2,9 kW |
| Энергопотребление в режиме холостого хода | 0,4 kW |
| Энергопотребление при предельном остаточном давлении | 1,5 kW |
| Номинальная частота вращения двигателя форвакуумного насоса | 3600 min⁻¹ |
| Номинальная частота вращения двигателя двухроторного бустерного вакуумного насоса Рутса | 5400 min⁻¹ |
| Уровень шума (ISO 2151) | 62 dB(A) |
| Расход воды | 3,0 l/min |
| Расход сжатого сухого воздуха | 25 l/min |
| Масса, прибл. | 310 kg |
| Размеры (L x W x H) | 1054 x 425 x 615 mm |
| Впуск газа | DN 100 ISO–K |
| Выпуск газа | DN 40 ISO–KF |
Производство полупроводников
-
Лёгкие
Отзывы
Отзывов пока нет.